автор
Андрей Полисан
Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев
Материалы и элементы электронной техники. Тонкопленочные многослойные структуры и солнечные элементы на основе гидрогенизированного аморфного и нанокристаллического кремния
Основы радиационных технологий. Расчет режимов ионной имплантации и профиля распределения имплантированных атомов примеси на примере изготовления кремниевых солнечных элементов n+–p–p+(p+–n–n+)-типа
Физика и технология приборов фотоники. Солнечная энергетика и нанотехнологии
Физика и технология приборов фотоники. Солнечная энергетика и нанотехнологии